Вакумска пећ, односно у специфичном простору ложишне коморе, вакуум систем (пажљиво монтиран вакуум пумпом, вакуум мерним уређајем, вакуум вентилом и другим компонентама) служи за испуштање дела материја у комору пећи, тако да се притисак у комори пећи је мањи од стандардног атмосферског притиска, а простор у комори пећи се користи за постизање вакуумског стања, што је вакуумска пећ.
Вакумска пећ је уређај који се загрева у вакуумском окружењу. Комора пећи се доводи до система пумпе високог вакуума у пећи затвореној металним или кварцним стакленим поклопцем. Степен вакуума пећи може да достигне 133×(10-2~10-4)Па. Систем грејања у пећи може се директно загрејати електричним загревањем жице отпорне пећи (као што је волфрамова жица), или се може загрејати високофреквентном индукцијом. Максимална температура може достићи око 3000 степени. Углавном се користи за печење керамике, вакуумско топљење, дегазирање и жарење електричних вакуумских делова, лемљење металних делова и керамичко-метално заптивање.
