Цеваста пећ за хемијско таложење напаре (ЦВД) је, у суштини, високо интегрисан и софистициран систем, док стандардна цевна пећ служи као општији- алат за термичку обраду.
Архитектура ЦВД пећи укључује специјализоване подсистеме намењене испоруци гаса, контроли вакуума и компонентама реакционе хемије{0}}које нема у једноставнијим пећима дизајнираним искључиво за загревање материјала у контролисаној атмосфери.
Специфични захтеви процеса хемијског таложења из паре (ЦВД) директно диктирају његов сложени структурални дизајн. Свака компонента има посебну функцију која се протеже далеко даље од пуког загревања.
Реакциона комора и цев за пећ
ЦВД системи користе цеви за пећи високе{0}}чистоће (обично направљене од кварца) како би се осигурало да ниједан загађивач не омета процес хемијског таложења.
Оба краја ових цеви су заптивена помоћу прирубница од нерђајућег челика високог{0}}вакума. Ово ствара гасно{2}}непропусно окружење-што је критичан захтев за контролу гасова прекурсора и евакуацију нуспроизвода у условима вакуума.
Насупрот томе, стандардне цевне пећи обично користе алуминијумске или мулитне керамичке цеви. Њихови заптивни механизми су дизајнирани само да садрже инертне гасове, а не да одржавају окружење високог{1}}вакума.
Системи за контролу атмосфере и притиска
Ово представља најзначајнију структурну разлику. АЦВД цевна пећпоседује систем за контролу извора гаса-који је обично опремљен са више контролера масовног протока (МФЦ)-како би се олакшало прецизно мешање и убризгавање реактивних прекурсора гасова.
Такође укључује интегрисани систем контроле вакуума, заједно са пумпама и манометрима, дизајниран да одржи специфично окружење ниског{0}}притиска потребног за одвијање реакције таложења.
За поређење, стандардне цевне пећи имају релативно једноставне улазне и излазне отворе за гас. Иако им је потребно пречишћавање инертним гасовима-као што су азот или аргон-да би се спречила оксидација, недостаје им могућност прецизне контроле над саставом гаса и притиском.
Систем контроле температуре
ЦВД пећи користе више-сегментне интелигентне програмабилне контролере.
Ови контролери су у стању да извршавају сложене температурне профиле-укључујући прецизне брзине, времена задржавања и брзине хлађења-који су критични за управљање растом и својствима депонованих танких филмова.
Многе такве пећи такође имају дизајн са три-зоне, при чему се централни део цеви и њена два краја независно контролишу помоћу засебних контролера.
Ова конфигурација успоставља ширу зону изузетне температурне униформности-што је кључни предуслов за постизање доследног таложења на великим површинама, као што су силицијумске плочице.
Док пећи са више{0}}зона постоје за апликације које нису-ЦВД, основне цевне пећи обично користе једну зону грејања и једноставније контролере, дизајниране да одржавају једну циљну температуру.
Тело пећи и хлађење
Пећи за хемијско таложење напаре (ЦВД) обично имају структуру кућишта пећи са дуплим-зидовима опремљену унутрашњим вентилаторима за хлађење. Овај дизајн омогућава брзо хлађење када се процес таложења заврши.
Таква брза промена температуре је захтев процеса; помаже да се „замрзне“ структура депонованог танког филма, чиме се спречавају нежељени фазни прелази или раст зрна који би иначе могли да настану током спорог процеса хлађења.
Стандардни дизајн пећи, насупрот томе, даје предност термичкој стабилности и обично користи метод спорог, пасивног хлађења.