Вакумске пећи су пећи за вакуумску топлотну обраду, које се деле према опреми за примену и укључују следеће типове:
Пећ за вакуумско гашење, пећ за вакуумско лемљење, пећ за вакуумско жарење, пећ за вакуумску магнетизацију, пећ за вакуумско каљење, пећ за вакуумско синтеровање, пећ за вакуумско дифузионо заваривање, вакуумска пећ за карбуризацију, итд.
Према методи загревања, вакуумска пећ је подељена на вакуумску отпорну пећ, вакуумску индукциону пећ, вакуумску електролучну пећ, вакуумску самопотрошну електролучну пећ, пећ са електронским снопом (позната и као пећ за електронско бомбардовање) и пећ на плазма.