Вакумска пећ се углавном састоји од главног мотора, коморе пећи, електричног уређаја за грејање, затвореног омотача пећи, вакуумског система, система напајања, система за контролу температуре и екстерног транспортног возила. Запечаћена шкољка пећи је заварена од угљеничног челика или нерђајућег челика, а спојне површине одвојивих делова заптивене су материјалом за вакуумско заптивање. Да би се спречило деформисање омотача пећи након загревања и да се материјал за заптивање поквари када се загреје, шкољка пећи се генерално хлади воденим или ваздушним хлађењем. Комора пећи се налази унутар затвореног омотача пећи. У зависности од намене пећи, комора пећи је опремљена различитим типовима грејних елемената, као што су отпорници, индукциони калемови, електроде и електронски топови. Вакумске пећи за топљење метала опремљене су лонцима, а неке су опремљене аутоматским уређајима за изливање и манипулаторима за утовар и истовар. Вакум систем се углавном састоји од вакуум пумпе, вакуум вентила и вакуум мерача.